ISBN 978-3-8439-0234-2

978-3-8439-0234-2, Reihe Werkstoffwissenschaften

Marcel Hagymási
Verdichtungsverhalten von magnetischen und dielektrischen Glaskeramiken sowie daraus hergestellten Verbunden

184 Seiten, Dissertation Universität Erlangen-Nürnberg (2011), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Mehrlagen-Glaskeramik-Verbunde (LTCC) haben sich in der Mikroelektronik aufgrund ihrer hohen Integrationsdichte von Leiterbahnen, Widerständen und anderen passiven Bauelementen durchgesetzt. Um den steigenden Anforderungen der Miniaturisierung, aber auch dem Kostendruck zukünftig gewachsen zu sein, müssen immer komplexere Schaltungen realisiert werden, so dass gestiegene Kosten mit einer erhöhten Funktionalität gerechtfertig werden. Die Einbindung von magnetischen Keramiken in bestehende LTCC-Systeme ermöglicht eine Vielzahl von neuen Funktionen zu integrieren. Die bis in den GHz-Bereich konstante Permeabilität prädestiniert vor allem Hexaferrite für Breitbandanwendungen.

Im Rahmen dieser Arbeit wurden neu entwickelte BaFe12O19-Hexaferrit-LTCC-Folien umfassend charakterisiert. Kommerzielle Folien wurden ebenso untersucht, um deren Eignung zur Herstellung eines ferrisch-dielektrischen Verbunds zu evaluieren. Die aus den Einzelfolien gewonnen Materialdaten, wie Sinterintervall, Packungsdichte und Gesamtschwindung, Kristallisationsverhalten und uniaxiale Viskosität erlauben das komplexe Sinterverhalten der daraus gewonnen hergestellten Verbunde zu verstehen. Dies ist vor allem für die Entwicklung zukünftiger Systeme von größter Bedeutung.