Datenbestand vom 08. Februar 2012
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aktualisiert am 08. Februar 2012
978-3-86853-452-8, Reihe Ingenieurwissenschaften
Jörn Christian Weber Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern
204 Seiten, Dissertation Technische Universität Dresden (2010), Softcover, A5
