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aktualisiert am 27. April 2024

ISBN 978-3-86853-452-8

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978-3-86853-452-8, Reihe Ingenieurwissenschaften

Jörn Christian Weber
Reaktive Abscheidung von SiOxNy-Schichten durch Puls-Magnetron-Sputtern

204 Seiten, Dissertation Technische Universität Dresden (2010), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

Abstract / Leseprobe auf Anfrage verfügbar