ISBN 978-3-86853-929-5

978-3-86853-929-5, Reihe Mikrosystemtechnik

Martin Zimmer
Nasschemische Prozesse bei der Herstellung von kristallinen Siliziumsolarzellen und deren Analytik

221 Seiten, Dissertation Albert-Ludwigs-Universität Freiburg im Breisgau (2011), Softcover, A5

Zusammenfassung / Abstract

In dieser Arbeit wurden verschiedener Analysenmethoden evaluiert und verglichen, die für die Prozessüberwachung nasschemischer Ätzprozesse bei der Herstellung von kristallinen Siliziumsolarzellen in Frage kommen. Hierzu wurden zunächst die Abhängigkeiten der Prozessresultate von den chemischen Konzentrationen in der Prozesslösung untersucht. Die untersuchten Prozesse im Einzelnen sind die alkalische Sägeschadenätze, die sich aufgrund ihrer Anwendung in Hocheffizienzzellkonzepten derzeit einer wachsenden Beliebtheit erfreut, die alkalische Textur, mit der die Oberfläche von monokristallinem Silizium zur Reflexionsminderung mit zufällig verteilten Pyramiden strukturiert wird, sowie die saure Texturierung mit Flusssäure und Salpetersäure auf multikristallinem Silizium, bei der eine von der Kristallorientierung unabhängige reflexionsmindernde Strukturierung auf der Waferoberfläche erzeugt wird.